祝贺！首芯半导体！首台12寸PECVD Amorphous Carbon设备Dubhe交给职业抢先客户

  12月30日，首芯半导体成功交给首台12寸Dubhe系列等离子体增强型设备，标志其在高端半导体配备制作范畴获得重要打破。该设备支撑无定形碳硬掩膜先进工艺，对半导体器材的可靠性及质量至关重要。Dubhe系列设备具有了高效率和宽工艺调理窗口等长处，可大规模的应用于多个芯片制作范畴。

  首芯半导体将继续加大研制投入，招引海外人才，加强与客户协作，致力于开发先进半导体薄膜堆积设备，助力客户工艺开发及产品途径拟定，为打破国外技能独占、推进国家半导体开展的战略贡献力量。